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作者
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出处
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| 1 | 硅的微动态结构显示文摘实验证明可以做出转子直径为0.1mm的电动电机,它为微系统的发展开辟了前景。在用IC工艺做出的材料上形成机械结构,并由此做出精细的器件。这表明,有可能设计出高性能的传感器和致动器,并且能与片上电路相结合。这项研究可能会导致新一代的对工程设计有巨大影响的微系统。这种来源于IC工艺的特殊有效的技术是采用多晶硅和氮化硅作机械材料的。通过腐蚀二氧化硅“牺牲”层使微结构脱离衬底。这种技术开始用来制作静电驱动共振电桥,后又用来制作转动和滑动结构、齿轮、弹簧和最近的徽型电机。需要研究形成微动态结构的电材料的机械特性(这些材料以前专门用在电气学方面)、机械设计的精缩和计算机辅助的有效利用,以提供技术基础,才能完全开发这项技术。微动态元件驱动器电路及信号处理电路向VLSI的设计者们提出了新的挑战。 | Richard S.Muller 吴洪江 | 1990 | 半导体情报1990，，3： | 0 |
| 2 | 石英振梁加速度计:一种精密低成本的小型敏感器显示文摘当考虑到标度因数精度要求的时候,振梁加速度计是一种很有吸引力的概念.这种概念基于当梁受到因加速度引起的拉力或压力时,振梁谐振频率发生变化. | D.Janiaud O.LeTraon S.Muller A.Bernard P.Bouniol | 2004 | 战术导弹控制技术2004，，2： | 0 |
| 3 | Mecanotransduction and Endothelial Cells显示文摘 | S.MULLER JF. STOLTZ2 | 2005 | 生物医学工程学杂志2005，22，S1： | 0 |
| 4 | 集成多传感器芯片显示文摘已制成能同时测量物理和化学变量的多用途集成传感器芯片,该芯片尺寸为8×9mm^2,芯片上除含有作为信号调节、矩阵存取和输出缓冲的常规MOS 器件外还包含下列传感器:气体流量传感器、红外传感器阵列、化学反应传感器、悬臂梁加速计、表面声波蒸汽传感器、触觉传感器阵列和红外电荷耦合器件摄象器.这个芯片的多传感功能利用了ZnO 薄膜的热电和压电效应.该蕊片的制造采用了常规的3μm NMOS 硅工艺与硅的微机械加工技术相结合.本文还叙述了相容的制造技术和传感器的性能. | D.L.POLLA RICHARD S.MULLER RICHARD M.WHITE 石广源 | 1990 | 微电子学与计算机1990，7，8： | 0 |
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