| 1 | 集成多传感器芯片显示文摘已制成能同时测量物理和化学变量的多用途集成传感器芯片,该芯片尺寸为8×9mm^2,芯片上除含有作为信号调节、矩阵存取和输出缓冲的常规MOS 器件外还包含下列传感器:气体流量传感器、红外传感器阵列、化学反应传感器、悬臂梁加速计、表面声波蒸汽传感器、触觉传感器阵列和红外电荷耦合器件摄象器.这个芯片的多传感功能利用了ZnO 薄膜的热电和压电效应.该蕊片的制造采用了常规的3μm NMOS 硅工艺与硅的微机械加工技术相结合.本文还叙述了相容的制造技术和传感器的性能. | D.L.POLLA RICHARD S.MULLER RICHARD M.WHITE 石广源 | 1990 | 微电子学与计算机1990，7，8： | 0 |
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