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时间 1989 - 2010 学科选择学科
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15篇 您的检索式：作者名="OBENG Y"
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    题名 作者 年代 出处 被引量
1Effect of annealing on surface microstruetural evolution and the electromigration reliability of electroplated Cu films 显示文摘Kang S H Obeng Y S Decker M A 2001Journal of Electronic Materials2001，30，12：1
2Applicability of dynamic mechanical analysis for CMP poly- urethane pad studies显示文摘Lu H Obeng Y Richardson K A 2002Meterials Characteri- zation2002，49，2：1
3Langrnuir显示文摘Obeng Y S Bard A J 19917 : 1951991，7，：1
4ApplicabilitY of dynamic mechanical analysis forCMP Polyurethane Pad studies显示文摘Lu H Obeng Y 2003Materials Characterization2003，49，：1
5Applicability of dynamic mechanical analysis for CMP polyurethane pad studies显示文摘Lu H Obeng Y 2003Materials Characterization2003，49，：1
6Quantitative analysis of physical and chemical changes in CMP polyurethane pad surfaces显示文摘Lu H Fookes B Obeng Y 2002Materials Characterization2002，49，：1
7Langmuir Films of C60 at the Air-Interface显示文摘Obeng Y S Bard A J 1991J Am Chem Soc1991，113，：1
8Quantitative analysis of physical and chemical changes in CMP polyurethane pad surfaces显示文摘Lu H Fookes B Obeng Y 2002Materials Characterization2002，49，1：1
9Applicability of dynamic mechanical analysis for CMP polyurethane pad studies显示文摘Lu H Obeng Y 2003Materials Characterization2003，49，：1
10Applicability of dynamic mechanical analysis for CMP polyurethane pad studies显示文摘Lu H Obeng Y 2003MateriaLs Characterization2003，49，：1
11Applicability of dynamic mechanieal analysis for CMP polyurethane pad studies显示文摘Lu H Obeng Y 2003Materials Characterization2003，49，：1
12Quantitive analysis of physical and chemical changes in CMP polyurethane pad surfaces显示文摘Lu H Fookes 8 Obeng Y 2002Mater Character2002，49，：1
13Quantitative analysis of physical and chemical changes in CMP polyurethane pad surfaces显示文摘LU H FOOKES B OBENG Y 2002Materials Characterization2002，，49：1
14Applicability of dynamic mechanical analysis for CMP polyurethane pad stu- dies 显示文摘LU H OBENG Y RICHARDSON K A 2002Mater Charact2002，49，2：1
15Chemical mechanical planarization of copper: Role of oxidants and inhibitors 显示文摘DESHPANDE S KUIRY S C KLIMOV M OBENG Y SEAL S 2004Journal of The Electrochemical Society2004，151，1：1
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