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时间 1989 - 2010 学科选择学科
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1篇 您的检索式：作者名="Pete Lipscomb"
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    题名 作者 年代 出处 被引量
122nm技术节点的成品率目标显示文摘半导体行业正在开发必要的缺陷量测和薄膜量测解决方案,但22nm技术节点的监测还需开发新的成像套刻目标结构。Dilip Patel Kye Weon Kim Doron Arazi John Allgair Benjamin Bunday Milton Godwin Victor Vartanian Pete Lipscomb Aaron Cordes 2008集成电路应用2008，25，8：0
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