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抗反射疏水红外窗口的制备研究

查看全文 作  者:[1]张然;[2]曹小文;[3]徐微微;Haraguchi [3]Masanobu;[1]高炳荣 高影响力作者 机构地区:[1]吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,长春130012;[2]吉林大学机械科学与工程学院,长春130022;[3]DepartmentofOpticalScienceandTechnology,UniversityofTokushima,7708506,Japan高影响力机构 出  处:《物理学报》索引2014年第63卷第5期,共6页高影响力期刊 基  金:国家自然科学基金(批准号:21003060)资助的课题~~ 摘  要:本研究利用纳秒激光两次双光束干涉无掩模烧蚀、快速制备硫化锌(ZnS)微纳结构抗反射疏水表面,使其红外透过率由原来的75%增加到92%,解决了表面淀积抗反射镀层膜层附着力、抗蚀性、热胀失配等问题.此方法加工过程快速简单,可实现大面积制作,且微纳结构使基底具有疏水性能,疏水角可达145fi.使其在光电子、太阳能、航空航天及红外制导等领域具有广泛的应用前景. 关 键 词:激光干涉 抗反射 疏水
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