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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	靶电流对TiAlN/TiN复合膜组织及硬度的影响显示文摘采用多弧离子镀技术在40Cr基体上制备TiAlN/TiN复合膜层,通过金相显微镜、扫描电镜和显微硬度仪研究靶电流对膜层表面形貌、沉积率及硬度的影响。结果表明:靶材电流对膜层组织和硬度有显著影响,电流越高膜层表面越不平整,显微硬度随靶材电流的升高先上升后降低。靶电流越高,膜层中Ti、Al原子的含量就越高。	卢龙任明皓蒋涛严铿	2010	热加工工艺2010，39，22：	5

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