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1篇 您的检索式：作者名="F.Behi"

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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	集成多晶硅微机械的摩擦与磨损的在位测量显示文摘这里,我们描述一组实验、在位测量和理论模型,用来评估集成多晶硅微机械的摩擦系数及其磨损.实验中使用了一个基于激光束的测量系统,监控微机械的旋转运动,记录速度高达1万每秒转的转速,最后在不同的操作条件下决定受测结构的生命周期,某些特殊的元件在运转百万次后仍能正常工作.	K.J.GABRIEL F.BEHI R.MAHADEVAN M.MEHREGANY 李明祥	1990	电子器件1990，13，3：	0

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